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SiC同質外延厚度分析

發布時間:2020-08-18 15:41:37瀏覽:eyou:arcclick /}

鈍化層分析 鈍化層作為保護層、絕緣層或抗反射層,在半 導體材料中扮演著重要的角色。 VERTEX 係列 光譜儀是分析鈍化層的理想工具,它可以實 現快速靈敏的無損分析。
磷矽玻璃(PSG)和硼磷矽玻璃(BPSG)中硼和 磷的定量分析  分析SiN等離子層和Si-O基鈍化層 分析超低K層

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厚度分析 VERTEX 係列光譜儀可用於測量半導體層狀結構 中的層厚度,精度極高。此應用是基於對紅外光 在層狀結構中產生的光幹涉效應的分析,可用於 亞微米量級至毫米量級的厚度分析。
 用反射或透射實驗分析層厚度。 專用的分析軟件,用於分析複雜的層狀結構。 可選薄膜掃描成像附件,可測量直徑至12”的 矽晶片。

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